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在生產環節中,干式真空泵因夏天溫度過高,真空度始終上不去,葉輪也會因為腐蝕或氣蝕問題需經常更換,同時也會經常出現卡死盤不動車的情況,因腐蝕真空度上不去,因此噴氣口位置還會出現噴油情況。種種情況雖然維修費用并不多,但會影響整體生產速度也很是尷尬。
所以我們針對干式真空泵的具體特點,進行了詳細講解,同時大家也是時候了解真正的干式真空泵究竟是如何實現運轉效果的。
在半導體行業、化學工業、薄膜產業得到應用于發展,國外市場正處于蒸蒸日上階段,如日本,半導體行業已全部用干式真空泵代替油封式機械泵,而歐美半導體行業有45%以上都在用干式真空泵代替油封式機械泵,大層面上提高了產品性能和質量。
為滿足不同應用領域和不同工況的具體要求,國外相繼研發出:螺桿式真空泵、多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、往復式活塞真空泵、渦旋式真空泵、渦輪式無油真空泵……而干式真空泵的極限壓力可以從10Pa達到102Pa范圍內,抽速從20m3/h達到500m3/h范圍。
吸氣和排氣原理與多數真空泵原理相似,利用一對螺桿,在泵殼中作同步高速反向旋轉所產生吸氣、排氣作用的抽氣設備。在作業過程中,相互間不存在任何摩擦,運轉穩定、噪音低、工作腔不需要潤滑油,所以干式真空泵可以抽除含有大量水蒸汽、少量粉塵。
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